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本实用新型公开了一种光刻机用水循环冷却结构，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器；冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，外壳上设有安装孔，温度传感器固定安装在所述安装孔上；风扇基座盖设在外壳上，使进水管与出水管限定在外壳和风扇基座之间；管道基座设置在外壳和风扇基座的一端，并分别与进水管与出水管连接；降温风扇固定安装在风扇基座上；其中，降温风扇设有两组，两组降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。本实用新型在冷却液进入冷却目标之前对冷却液进行
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213956054 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202022800817.0
(22)申请日 2020.11.28
(73)专利权人 广东科视光学技术股份有限公司
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