一种曝光机散热机构.pdfVIP

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2023-03-27 发布于四川
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本实用新型公开了一种曝光机散热机构，包括机箱组件、散热组件、液氮组件和交换组件，机箱组件包括箱体，箱体内安装有曝光组件，曝光组件包括掩模台和曝光台，曝光台位于箱体内，散热组件包括散热板和散热片，散热板位于曝光台下方，散热片固定在散热板上，散热片的内部贯穿有蛇形管，液氮组件包括液氮罐，交换组件包括交换箱和内胆，交换箱和内胆之间设置有保温层，交换箱的一侧固定有单向阀二，单向阀二通过管道与液氮罐连通，内胆内设置有交换管。本实用新型采用液氮辅助制冷降温，能快速对曝光机进行降温，提高对曝光机散热的效率，使

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218728602 U (45)授权公告日 2023.03.24 (21)申请号 202223062331.7 (22)申请日 2022.11.18 (73)专利权人青岛龙彩制版有限公司地址 26