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一种高纯氟化氢使用的输送系统.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种高纯氟化氢使用的输送系统.pdf

    本实用新型公开了一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座和柜体，底座顶部的中心固定安装有减震柱，柜体的内部通过隔板从上到下依次分隔为HF供应室和HF检测室，HF供应室内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器和处理器，HF供应室内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器和水分分析器，本实用新型一种高纯氟化氢使用的输送系统，两个气体检测器实时监控房间和柜体的HF浓度，控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内，加热圈的设置可以防止HF产生冷凝，若干个换气片和两个换气

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213954977 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202022962558.1 (22)申请日 2020.12.10 (73)专利权人 曹

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