原创力文档- 1
- 0
- 约6.08千字
- 约 8页
- 2023-03-28 发布于四川
- 举报
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜设备，包括真空仓体、底座、扩散泵、旋片泵、罗茨泵等组成。真空仓体置于底座上，通过管道和阀门连接至真空泵；真空仓体内部上方悬挂可放置产品的镀膜盘，镀膜盘上配有手柄以便放取方便；镀膜盘放置于旋转机构上，旋转机构由电机带动旋转；真空室内部装有离子源、电子枪和两套热蒸发源，本实用新型公开的一种真空镀膜设备，设有转盘连续旋转使基材与镀膜装置可以保持对应位置，确保镀膜均匀，设有分体式的放料架，方便快速更换上料，提高生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214004769 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022166907.9
(22)申请日 2020.09.28
(73)专利权人 东莞法克泰光电科技有限公司
您可能关注的文档
- 烟杆及电子烟.pdf
- 一种新能源汽车用电瓶安装装置.pdf
- 一种汽车电瓶线束安全防脱落装置.pdf
- 一种补气血的乌鸡膏熬制设备.pdf
- 一种补肾的龟鳖草本膏收膏设备.pdf
- 斜坡式建筑工程造价测试仪.pdf
- 一种畜牧兽医用喂食装置.pdf
- 一种用于铁路钢轨铺设中的轨距测量装置.pdf
- 一种学生用多向调节台灯.pdf
- 一种印刷机干燥系统废气节能减排增浓机构.pdf
- 第一节 电阻和变阻器(讲义)物理沪科版2024九年级全一册.docx
- 第3节 质量的测量 (讲义) 物理沪科版(五四学制)2024 八年级上册.docx
- 第14讲 圆周运动（复习讲义）高考物理一轮复习.docx
- 暑假预习专题15 指数函数（20题型）新高一数学讲义（沪教版2020）.docx
- 第二节 发电机是怎样工作的（讲义）物理沪科版2024九年级全一册.docx
- 4.18 东晋南朝政治和江南地区开发 教学设计 部编版七年级上学期历史.docx
- 2.5实验：用单摆测量重力加速度（表格式教学设计）物理人教版2019选择性必修第一册.docx
- 第49讲 沉淀溶解平衡及图像分析（讲义）高考化学复习讲义（新教材新高考）.docx
- 旅游景区行业分析报告：内外兼修，多元创新.pdf
- Unit 1~2 单元语法知识点梳理 高二下学期期中考点（上教版2020选择性必修第二册）.pptx
文档评论（0）