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一种MPCVD金刚石石膜基片.pdfVIP

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  • 2023-03-28 发布于四川
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一种MPCVD金刚石石膜基片.pdf

    本实用新型提供一种MPCVD金刚石石膜基片，涉及石膜基片技术领域，包括基片体，所述基片体的外表面设置有防护结构和缓冲散热结构，所述防护结构包括第一防护盖和第二防护盖，所述第一防护盖的外表面一侧固定连接有第一连接杆，所述第二防护盖的外表面一侧固定连接有第二连接杆，所述基片体的外表面开设有固定孔，所述缓冲散热结构包括第一缓冲海绵和第二缓冲海绵，所述第一缓冲海绵的外表面贯穿设置有第一散热孔，所述第二缓冲海绵的外表面贯穿设置有第二散热孔。本实用新型，整个装置通过第一防护盖、第二防护盖、固定孔、第一连接杆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214004777 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022340359.7 (22)申请日 2020.10.20 (73)专利权人 上海征世科技股份有限公司

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