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- 2023-03-28 发布于四川
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本实用新型涉及硅晶圆制造技术领域，特别是涉及一种新型硅晶圆制造装置，包括机架，机架顶端内侧固定连接有液压伸缩轴，且液压伸缩轴下端固定连接有压板，压板下端的左右两侧均固定连接有弹簧伸缩杆，且弹簧伸缩杆下端固定连接有夹板，压板下端且位于两根弹簧伸缩杆之间从左到右均匀固定有若干块切刀，且机架内部下端开有收料室，收料室内部下端相接有缓冲海绵；通过废料凹盒对废料进行收集，保证了废料收集时的便捷性，并且通过伸缩气缸的收缩，便于将支板向下打开，因此利于使支板上的硅晶圆掉落至收料室内，保证了收料时的便捷性，缓冲
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214000065 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202021671569.8
(22)申请日 2020.08.12
(73)专利权人 吴琪
地址 523
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