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本实用新型公开了一种真空镀膜系统，包括：腔体；传输机构，设置于腔体，以输送工件；检测装置，设置于腔体，并位于工件运行方向上；纠偏装置，设置于腔体，检测装置检测到工件偏离运行方向的偏斜量达到预定量时，纠偏装置能够纠正工件的偏斜，以使工件回归至运行方向。工件运行时，通过检测装置检测工件的偏斜量，当工件偏斜量超过预定量时，纠偏装置纠正工件偏斜，使工件回归至运行方向，有效提高传输精度，有利于避免因工件偏斜发生的传输故障。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213977866 U
(45)授权公告日 2021.08.17
(21)申请号 202022718562.3
(22)申请日 2020.11.20
(73)专利权人 中山瑞科新能源有限公司
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用户编号：7160061112000031
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