一种AIN薄膜制备设备.pdfVIP

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  • 2023-03-28 发布于四川
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本实用新型涉及氮化铝技术领域,且公开了一种AIN薄膜制备设备,包括主体,所述主体的顶部固定连接有料斗,所述主体的顶部活动连接有基带,所述主体的顶部固定连接有烘干机,所述料斗的左侧固定连接有第一刮刀,所述第一刮刀的内部固定连接有固定杆。该AIN薄膜制备设备,通过第一刮刀、固定杆、第二刮刀、锁紧螺母、第一支板、第二支板、螺纹杆、定位杆、移动块、固定框、清洁辊、拉杆、抵紧螺栓、固定管和把手之间的相互配合,可以先转动把手,从而带动固定框沿着螺纹杆径向来回移动,进而通过清洁辊对第二刮刀的刀口进行清扫,达到

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214000246 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022499429.3 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人 南京三德光电有限公司

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