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- 2023-03-28 发布于北京
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本实用新型公开了一种晶圆切割装置，包括：切割槽，其上设置有进水口和出水口且所述进水口的高度高于所述出水口；设置在所述切割槽内的放置平台；驱动机构，驱动所述放置平台上下移动。与现有技术相比，本实用新型通过控制用于放置待切割晶圆的放置平台上下移动使放置平台浸没到水下以方便进行切割，在水下进行切割方便了冷却水对切割刀的冷却，同时进水口和出水口的流动造成水的涌动能够带走晶圆表面的硅粉，避免硅粉的残留，且在清理硅粉的时候能够有效的保护晶圆表面免受刮伤。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213971950 U
(45)授权公告日 2021.08.17
(21)申请号 202021303759.4
(22)申请日 2020.07.06
(73)专利权人 颀中科技（苏州）有限公司
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