一种烘烤系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.29万字
约 12页
2023-03-28 发布于四川
举报
版权申诉

一种烘烤系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种烘烤系统，属于芯片加工技术领域。本实用新型的烘烤系统包括：烘烤装置，包括本体，所述本体内设置有烘烤腔室，所述烘烤腔室的一端设置有入口，所述入口通过门体封闭，所述本体上还包括开门组件，所述开门组件与所述门体相连；运输装置，包括移动载体，所述移动载体上设有物料承载部件，所述物料承载部件与所述移动载体之间通过第一推动组件相连，所述第一推动组件在所述门体开启时将所述物料承载部件推送至所述烘烤腔室内。本实用新型的烘烤系统实现在芯片烘烤工艺中自动输送物料的作用，提高了芯片烘烤工艺的效率，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213988852 U (45)授权公告日 2021.08.17 (21)申请号 202023333451.7 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人徐州芯思杰半导体技术有限公司