一种基于射频中和的霍尔型等离子体赋能发射系统.pdfVIP

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2023-03-28 发布于北京
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一种基于射频中和的霍尔型等离子体赋能发射系统.pdf

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本实用新型公开了一种基于射频中和的霍尔型等离子体赋能发射系统，包括正离子发射器、电子发射器和电源系统，所述正离子发射器由阳极、供气体隔离器、导磁罩、阳极维持板、陶瓷绝缘板和磁铁构成，所述电子发射器由电子发射维持板、射频天线、绝缘放电室、供气体隔离器和阴极构成，所述电源系统由射频供能装置、阴极电源、电子发射引出电源和阳极电源构成。本系统通过本设计可以在几乎没有污染产生的情况下产实现大束流（大于2安培）的低能中性粒子流，从而提高产能，降低污染，保护环境，便于人们操作使用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213991122 U (45)授权公告日 2021.08.17 (21)申请号 202120170226.1 (22)申请日 2021.01.21 (73)专利权人常州鑫立离子技术有限公司