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适用于半导体设备的圆形屏蔽板的旋转打磨治具.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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适用于半导体设备的圆形屏蔽板的旋转打磨治具.pdf

    本实用新型涉及机械技术领域。适用于半导体设备的圆形屏蔽板的旋转打磨治具，包括一固定盘，固定盘上设有用于安装在旋转台上的安装孔，固定盘上开设有三个周向排布的一字槽，一字槽内滑动连接有滑块；还包括一旋转盘，旋转盘与固定盘转动连接，旋转盘上开设有用于引导滑块运动的弧形引导槽，滑块伸出弧形引导槽的区域安装有限位块，限位块用于抵住工件的外边缘；还包括一用于锁紧固定盘以及旋转盘的锁紧机构。本专利通过固定盘以及旋转盘的相互转动，即可实现限位块距离旋转盘中央位置的调节，进而可以适用于不同尺寸的屏蔽板的夹紧。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213999086 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022658136.5 (22)申请日 2020.11.17 (73)专利权人 上海富乐德智能科技发展有限公

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