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一种硅片清洗机热量回收装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种硅片清洗机热量回收装置.pdf

    本实用新型公开了一种硅片清洗机热量回收装置，包括新液池，所述新液池的出水口通过管道与换热箱内的换热管一端连接，所述换热箱内的换热管另一端通过管道与板式换热器的冷端进口连接，所述板式换热器的冷端出口通过管道与硅片清洗机的注入口连接，所述硅片清洗机的排放口通过管道与板式换热器的热端进口连接，所述板式换热器的热端出口通过管道与换热箱的进水口连接，所述换热箱的出水口通过管道与废液池连接。本实用新型将排放的废液与进入的新液热量交换，提升进入硅片清洗机的新液温度，达到降低加热的过程的用电，减少电耗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214010055 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022684052.9 (22)申请日 2020.11.19 (73)专利权人 句容协鑫光伏科技有限公司

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