原创力文档- 1
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型涉及一种平面靶材绑定间隙的清理装置，包括底座、上框架、升降控制轴、左转动轴组件、右转动轴组件、电机和由电机带动的环状清理丝线，上框架插接在底座上，升降控制轴上部设置有用于顶升上框架的定位轴承，升降控制轴穿过上框架，升降控制轴的下部与底座通过螺纹连接，左、右转动轴组件主要是由转动轴支架和滚动定位轴承构成，左、右转动轴组件通过转动轴支架分别安装在上框架的两侧，环状清理丝线张紧安装在左、右转动轴组件的滚动定位轴承以及电机的转轴上。该装置采用由电机带动的环状清理丝线对平面靶材的间隙进行清理，即
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214022129 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022976247.0
(22)申请日 2020.12.10
(73)专利权人 广西晶联光电材料有限责任公司
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