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一种半导体设备氮化钛装置喷头的打磨固定保护治具.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种半导体设备氮化钛装置喷头的打磨固定保护治具.pdf

    本实用新型公开了一种半导体设备氮化钛装置喷头的打磨固定保护治具，所述固定保护治具呈盆状，盆状治具包括中间的治具圆柱，底部的治具底，顶部的治具水平边沿以及位于治具水平边沿外边缘处的治具竖向边沿；所述治具底上开设有用于安装在旋转台上的治具定位孔；所述治具圆柱底端开设有溢水孔；所述治具水平边沿外边缘处开设有溢水槽；所述保护治具自治具竖向边沿处开始朝向治具水平边沿处延伸开设有取放开口槽；通过高精度加工制作，部件能更好的与台面进行贴合固定；对于被保护的铝部件喷头表面不会因受力而产生滑动造成的划碰伤，提高打

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213998961 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022777761.1 (22)申请日 2020.11.26 (73)专利权人 上海富乐德智能科技发展有限公

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