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载具识别装置以及载具.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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载具识别装置以及载具.pdf

    本实用新型公开了载具识别装置以及载具，其中，载具识别装置设置到载具上，其中，所述载具包括板件，所述板件用于装载镀膜对象物，所述板件上设置有多个贯通所述板件的通孔部，所述通孔部当中的至少一个，被装在所述板件上的识别件堵住。本发明的载具识别装置，由于在载具的板件上设置有多个通孔部，能够根据不同的载具，堵住板件的不同的通孔部以作为不同的载具的标识信息，因此，能够不受载具上附着的靶材粒子的影响而容易地对载具进行识别。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214004770 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022632384.2 (22)申请日 2020.11.13 (73)专利权人 深

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