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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种多沉积喷灯密度均匀的控制装置,靶棒相邻的两侧分别设置导轨和若干竖向排布的喷灯,红外测温仪固定于稳定平台上并沿导轨竖向往复运动,红外测温仪与控制器连接再连接电脑主机,红外测温仪对靶棒各个阶段表面进行周期性温度测试,喷灯的有机硅和燃料燃烧反应产出二氧化硅粉体,通过热泳沉积于靶棒上,形成疏松体,喷灯与燃料流量计连接,控制器通过燃料流量计调整对应喷灯上的实际输出燃料量。本实用新型提供的多沉积喷灯密度均匀的控制装置,利用红外测温对靶棒表面温度进行监测,调控燃料需求流量,使得到的疏松体表
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214004432 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022898278.9
(22)申请日 2020.12.07
(73)专利权人 江苏亨通光导新材料有限公司
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