一种用于PCVD熔缩工序的多层石墨发热体结构.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种用于PCVD熔缩工序的多层石墨发热体结构.pdf

本实用新型公开了一种用于PCVD熔缩工序的多层石墨发热体结构,包括石墨圆筒体和两个电极接入点,两个电极接入点和石墨圆筒体之间通过石墨杆固定连接,且两个石墨杆以石墨圆筒体直径方向中点为中心对称设置在石墨圆筒体两侧,所述石墨圆筒体为多层结构,石墨圆筒体内层由半圆弧形的第一内发热电阻和第二内发热电阻组成,石墨圆筒体外层由半圆弧形的第一外发热电阻和第二外发热电阻组成,本实用新型通过双层发热结构的设计,能够在保持发热功率不变的情况下,将缩短炉内热区的长度缩短一半,将热区作用在石英棒更窄的区间内,可以有效解

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214004431 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022918145.3 (22)申请日 2020.12.08 (73)专利权人 武汉友美科自动化有限公司

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