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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种压力控制系统与反应炉，压力控制系统包括反应室、冷却装置、抽气装置、第一控制阀与第二控制阀，反应室具有第一开口；冷却装置与第一开口连通，用于对从第一开口流出的气体进行冷却，冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口；抽气装置与第二开口连通，用于调节反应室内的气压；第一控制阀连接于第二开口，用于控制第二开口的开闭；第二控制阀连接于第三开口，用于控制第三开口的开闭。上述压力控制系统的结构简单，易于实现。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214012956 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022940301.6
(22)申请日 2020.12.10
(73)专利权人 深圳市捷佳伟创新能源装备股份
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