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半导体抛光片产业深度调研及未来发展现状趋势
半导体硅片技术发展
半导体硅片的生产工艺流程复杂,涉及工艺众多,主要生产环节包含了晶体成长、硅片成型、外延生长等工艺。晶体成长主要指电子级高纯度多晶硅通过单晶生长工艺拉制成单晶硅棒。硅片成型主要指将单晶硅棒通过滚圆、切割、清洗、研磨、抛光、再清洗去除杂质等工艺,加工成为半导体硅抛光片。外延生长主要指通过化学气相沉积的方式在半导体硅抛光片上生长一层或多层掺杂类型、电阻率、厚度和晶格结构都符合特定器件要求的新硅单晶层,形成半导体硅外延片。
光伏行业的硅片尺寸跟随着半导体行业晶圆尺寸发展的步伐,半导体行业晶圆尺寸不断变大,光伏行业尺寸也相应迭代。2019
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