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基于多孔硅传感器的系统.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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基于多孔硅传感器的系统.pdf

    本实用新型涉及一种基于多孔硅传感器的系统。基于多孔硅传感器的系统包括：衬底，以及在所述衬底上的波导，所述波导具有多孔部分。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214041167 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 201990000703.0 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公

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