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一种低功耗MEMS氢气传感器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种低功耗MEMS氢气传感器.pdf

    本实用新型提供一种低功耗MEMS氢气传感器，包括衬底层、下绝缘层、金属丝层和上绝缘层；衬底层表面开隔热槽，下绝缘层覆盖于衬底层上，下绝缘层设有与隔热槽对应的镂空窗口；金属丝层包括贵金属材质的第一金属丝和第二金属丝，第一金属丝为用作敏感单元的裸金属丝，第二金属丝为用作参比单元的、包裹有钝化层的金属丝；该第一金属丝和第二金属丝的两端均设有用于引出信号的焊盘，焊盘固定于下绝缘层与上绝缘层之间；第一金属丝和第二金属丝的中部均设有悬置于隔热槽上方的感测部；上绝缘层覆盖于金属丝层上。本实用新型可解决带支撑结

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214041233 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202023008094.7 (22)申请日 2020.12.15 (73)专利权人 苏州芯镁信电子科技有限公司

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