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一种液体回收装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种液体回收装置.pdf

    本实用新型涉及液体回收技术领域，公开了一种液体回收装置，包括：清洗盘，所述清洗盘用于夹紧晶圆，所述清洗盘的侧壁设有通孔；转动机构，所述转动机构用于驱动所述清洗盘转动；供液组件，所述供液组件用于向所述清洗盘喷入液体；第一收液盘，所述第一收液盘具有第一收液腔，所述第一收液盘设有与所述第一收液腔连通的排液管；第一升降机构，所述第一升降机构用于驱动所述第一收液盘相对所述清洗盘升降，以使所述第一收液腔包围或脱离所述清洗盘；及第二收液盘，所述第二收液盘具有第二收液腔，所述第一收液盘设置在所述第二收液腔内。本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214022247 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202022915042.1 (22)申请日 2020.12.08 (73)专利权人 广东先导先进材料股份有限公司

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