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反应炉.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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反应炉.pdf

    本实用新型公开了一种反应炉，包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组；炉体连接于基座；反应管连接于基座，用于放置待加工物料；第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动，以使位于炉体内的反应管与炉体分离；散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中，第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动，当炉体与反应管分离后，散热模组可以对反应管进行单独散热，如此，物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热，避免被空气中的杂质污染，炉体可以保持在加热状态，能够减少整体散热时间，减少

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012909 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023121104.8 (22)申请日 2020.12.22 (73)专利权人 深

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