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一种全无机晶体管型X射线探测器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种全无机晶体管型X射线探测器.pdf

    本实用新型提供一种全无机晶体管型X射线探测器。该探测器包括衬底、栅电极、栅绝缘层、沟道半导体层、源电极和漏电极、X射线吸收层和保护层，其中，在所述X射线吸收层和所述沟道半导体层建立异质结，在X射线照射下，该异质结使所产生的电子‑空穴对分离，并使所述X射线吸收层产生的载流子注入到所述沟道半导体层。本实用新型无需设置顶电极，通过异质结界面将吸收层的非平衡载流子转移到沟道层中，可在低电压条件下工作，并且器件结构简单，易于制造。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012954 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022698284.X (22)申请日 2020.11.20 (73)专利权人 深圳先进技术研究院

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