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机械手偏离检测装置.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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机械手偏离检测装置.pdf

    本实用新型提供了一种机械手偏离检测装置，包括机械手、预抽真空室及设置在所述预抽真空室内的多个传感器，每个所述传感器均包括发射端及接收端，所述机械手抓取一晶圆并经过所述传感器，若所述接收端接收到所述发射端发出的信号，则所述机械手的位置偏离，若所述接收端没有接收到所述发射端发出的信号，则所述机械手的位置正常。通过传感器的接收端是否接收到所述传感器的发射端发出的信号，来判断所述机械手的位置偏离，能够有效检测出机械手在抓取晶圆或传送晶圆时的手臂高度，做到提前预警功能，避免机械手在高度方向的偏移量过大，导

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214010220 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202120225203.6 (22)申请日 2021.01.26 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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