工件架旋转系统以及真空镀膜设备.pdfVIP

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2023-03-29 发布于北京
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工件架旋转系统以及真空镀膜设备.pdf

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本实用新型公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、公转盘、自转盘、传动结构、制动结构和驱动结构，所述自转盘设有自转轴且绕着所述自转轴转动安装于所述公转盘上，以能够随同所述公转盘转动，传动结构包括传动轴和齿轮传动机构，所述传动轴和所述公转轴相互套接且转动设置，所述齿轮传动机构包括大齿轮和小齿轮，所述制动结构能够选择性地限制所述传动轴或所述公转轴转动，所述驱动结构能够选择性地驱动所述传动轴和/或所述公转轴，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214032679 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202022734930.3 (22)申请日 2020.11.23 (73)专利权人北航歌尔（潍坊）智能机器人有限