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再生晶圆低磨耗的均质化研磨系统.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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再生晶圆低磨耗的均质化研磨系统.pdf

    本实用新型提供一种再生晶圆低磨耗的均质化研磨系统，供以针对再生晶圆进行平坦化研磨，包含前段研磨机，具有雾面磨光垫，供以将所述再生晶圆表面与所述雾面磨光垫进行旋转接触并执行雾面磨光；及后段研磨机，设于所述前段研磨机的一侧并具有亮面抛光垫，将雾面磨光后的所述再生晶圆传送至所述后段研磨机，并再次与所述亮面抛光垫进行旋转接触并执行亮面抛光。或使用研磨机台并电性连接驱动电源，所述研磨机台具有雾面磨光模式及亮面抛光模式，所述雾面磨光模式执行于所述亮面抛光模式之前，供所述再生晶圆先执行雾面磨光，后执行亮面抛光

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213999046 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022751346.9 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 中

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