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一种氮化镓基差分式无栅生物传感器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种氮化镓基差分式无栅生物传感器.pdf

    本实用新型公开一种氮化镓基差分式无栅生物传感器，涉及生物传感器领域，包括GaN器件Q1、GaN器件Q2以及外围的功能电路，采用了第三代氮化镓基宽禁带半导体技术和差分技术，包含两个工艺完全相同且并联连接的无栅GaN器件，以及差分信号处理电路。氮化镓无栅传感器具有天然高浓度二维电子气及强极化效应，感测灵敏度高、响应度高、制备工艺简单。差分技术使传感器的感测精度大幅度提升，使其几乎不受环境影响。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012942 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023007673.X (22)申请日 2020.12.15 (73)专利权人 南京工业职业技术大学

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