原创力文档- 2
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种微导线垂直连接装置，属于电镀连接技术领域。该装置包括喷嘴台、微导线、玻璃管、工具阳极、固定塞。喷嘴台上设有进液口和喷嘴口；喷嘴台与工具阳极之间的相对位置由固定塞固定。本实用新型可在芯片表面上形成可控的微小区域，实现微导线和芯片垂直连接，定位精度高。装置简单，组装方便，易于操作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214031726 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022936710.9
(22)申请日 2020.12.10
(73)专利权人 河南理工大学
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