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一种新型离子源等离子体中和器.pdfVIP

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  • 2023-03-29 发布于四川
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一种新型离子源等离子体中和器.pdf

    本实用新型涉及离子源技术领域，提出了一种新型离子源等离子体中和器，包括阴极筒、阳极引盘、设置在阴极筒外侧的冷却筒，冷却筒外侧套设有永磁磁环，阳极引盘与阴极筒的一端存在间隔，阴极筒的另一端为进气端，冷却筒上设置有冷却空腔及与冷却空腔连通的进口及出口，阳极引盘接正电，阴极筒接负电。通过上述技术方案，解决了现有技术中等离子中和器成本高及离子源灯丝型中和器电子发生不稳定、连续工作时间短、有污染的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012896 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202023146316.1 (22)申请日 2020.12.23 (73)专利权人 长沙元戎科技有限责任公司

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