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ⅲ族氮化物外延层中的缺陷 族氮化物外延层中的缺陷研究早在二十世纪八十年代已经开始，其目的是研究在族氮化物外延层中的缺陷的特性，特别是内核穿透隧道的形成以及它们的应用。这给我们提出了一个重要的研究课题，即研究族氮化物外延层中的缺陷及其结构的研究。 族氮化物外延层的缺陷是指族氮化物外延层原子之间由无序排列或位移缺陷核而形成的七联环系统。由于它们的存在，外延层结构中通常会出现大量空位。这些缺陷是一种族氮化物中存在的重要原子结构，对电子结构有重要影响。因此，对族氮化物外延层中缺陷的研究，对理解和提高材料性能有重要意义。 族氮化物外延层中的空间缺陷具有独特的物理形态和特征，它们可能会影响材料的电子结构以及它的光学和热性质。目前，对族氮化物外延层中的空间缺陷的研究主要集中在缺陷的尺寸和形状，以及它们对能带结构的影响，以及缺陷的动力学和热学性质的影响，及如何改变外延层电子结构和物理性质的研究等。 族氮化物外延层中的空间缺陷可以分为两类，一类是由无序空位排列而成的块状结构，另一类是由对位空位排列而成的七联环结构，也就是所谓的“量子穿透洞”。空位的局部排列会改变其周边的电子平均配置和热力学特性。而空位排列的尺度大小将影响空间键力大小，从而影响外延层的物理性质及其动力学性质。 族氮化物外延层中的“量子穿透洞”又可以将其分为两种形式：一种是由四元环内排列的副空位形