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- 2023-04-03 发布于重庆
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碳化硅单晶炉行业现状
湿电子化学品:半导体制造材料关键一环
湿电子化学品贯穿整个芯片制造流程,是重要的晶圆制造材料。湿电子化学品又称工艺化学品,是指主体成分纯度大于99.99%,杂质离子和微粒数符合严格标准的化学试剂。在IC芯片制造中,湿电子化学品常用于清洗、光刻和蚀刻等工艺,可有效清除晶圆表面残留污染物、减少金属杂质含量,为下游产品质量提供保障。在半导体制造工艺中主要用于集成电路前端的晶圆制造及后端的封装测试,用量较少,但产品纯度要求高、价值量大。
(一)湿电子化学品种类众多,硫酸和双氧水占比较高
根据应用领域的不同,湿电子化学品可分为通用化学品和功能性化学品。其中通用化学品指主体成分纯度大
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