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电参数测试修复设备全景调研与发展战略研究 前道量检测修复设备产业概况 （一）修复设备是前道量检测设备市场的重要组成 根据设备来源的不同，前道量检测设备主要可分为原厂设备、国产设备和修复设备等，共同服务于晶圆制造产线，支持半导体产线的建设。设备主要服务于全球最先进制程芯片制造企业主要致力于服务国内市场需求，尚处于起步阶段。 国际龙头企业国内设备开发企业具备修复实力企业原厂设备指的是由KLA、AMAT、Hitachi等国际龙头企业研发、生产的前道量检测设备。作为业内龙头，KLA等原厂设备供应商专注于引领前道量检测设备市场的技术发展和最新一代设备的研发、生产，主要服务于全球最先进制程晶圆制造企业。