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硬脆材料切割技术演进情况分析 硬脆材料切割技术演进情况 近几十年来，随着硬脆材料的广泛应用，切割技术也不断升级迭代，依次经历了内圆锯切割、游离磨料砂浆切割和金刚石线切割，历次技术升级都带来了切割效率的提升和切割成本的降低。 内圆切割刀片的内侧边缘电镀有一层金刚石颗粒，切割原理是将切割材料置于刀片的内圆部分，通过刀片的高速旋转使内侧金刚石颗粒与硅料摩擦，从而达到切割效果。内圆切割一次只能切割1片硅片；B．内圆切割片厚度较大，硅料切割时锯缝损耗较高，硅料利用率较低；C．随着硅片尺寸的增大，内圆高速旋转带来的硅表面损伤、裂纹和翘曲变形等问题也愈发严重。 游离磨料砂浆切割技术发展于二十世纪末，在切割硬