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真空镀膜设备行业规模 真空镀膜设备行业规模 1、全球真空镀膜设备制造行业发展概况 在全球范围内，由于真空抽气系统的发明，真空镀膜设备产业步入了真正意义上的发展，20世纪上半叶主要是真空镀膜设备制造初步发展阶段，该阶段真空镀膜设备制造及其镀膜工艺相对简单，以功能实现为目的，真空镀膜技术及设备以蒸发镀膜为主，溅射镀膜和离子镀膜技术尚未量产应用，产业未形成规模化体系。20世纪后半段至今，真空镀膜设备制造获得了迅速发展，一是真空镀膜技术的不断补充和完善，溅射镀膜技术以及离子镀膜技术全面应用于真空镀膜，二是随着半导体、微电子等产业的起步和发展，真空镀膜被提升至产业化发展高度，其次是伴随着应用材料、日本光