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按钮设备、输入设备以及电子装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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按钮设备、输入设备以及电子装置.pdf

    本公开的实施例涉及按钮设备、输入设备以及电子装置。一种按钮设备包括MEMS传感器，MEMS传感器包括MEMS应变检测结构和可变形基板，可变形基板被配置为响应于外力而经历变形，MEMS应变检测结构包括：移动元件；第一锚固件和第二锚固件，第一锚固件和第二锚固件二者相对于可变形基板是刚性的，并且第一锚固件和第二锚固件二者被配置为响应于外力而在移动元件上位移以及生成变形力；以及定子元件，电容耦合到移动元件，移动元件的位移导致在移动元件与定子元件之间的电容变化，MEMS传感器被配置为基于电容变化来生成检测

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214114911 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202022190294.2 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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