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圆形阴极防交叉污染结构.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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圆形阴极防交叉污染结构.pdf

    本实用新型涉及圆形阴极防交叉污染结构，包括溅射靶，溅射靶的靶头位于溅射靶靶口，靶口外增设一个防护罩筒，防护罩筒的外形呈矩形片蜷曲形成的筒状，其周长大小与溅射靶靶口的周长一致。该防交叉污染结构，圆筒形的防护罩，其内可以阻挡一部分小弧度飞溅的离子，以免飞入相邻的溅射靶靶头上造成污染，其外可以阻挡相邻溅射靶上小弧度飞溅出来的离子，防止溅射到溅射靶靶头上造成污染，同时防护罩上通过卡箍，采用紧固螺钉固定，可以实现自由摘取和更换。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214088647 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120019833.8 (22)申请日 2021.01.06 (73)专利权人 杭州朗为科技有限公司

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