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一种吸盘.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种吸盘.pdf

    本实用新型提供一种吸盘，包括：吸盘本体，所述吸盘本体包括吸附区域和围绕所述吸附区域的环形沉槽，所述吸附区域的直径小于待吸附基底的直径，所述环形沉槽的外径大于待吸附基底的直径，所述消光层至少覆盖所述环形沉槽的底部，且所述消光层的厚度小于所述环形沉槽的深度。本实用新型提供的所述吸盘通过环形沉槽的布置，有效地解决了因基底边缘与吸盘本体凸环重叠，光学缺陷检测分系统无法对基底边缘有效识别从而导致基底边缘不能有效对准的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099614 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023202985.6 (22)申请日 2020.12.25 (73)专利权人 上海微电子装备（集团）股份有限

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