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一种上部电极表面研磨用定位工装.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种上部电极表面研磨用定位工装.pdf

    本实用新型公开了一种上部电极表面研磨用定位工装，包括有上部电极本体、内、外环形接触部位、第一内、外定位块和第二内、外定位块，第一内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相对应，且第一内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相重合的第一定位狭缝；第二内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的拐角位置相对应，且第二内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的拐角位置相重合的第二定位狭缝。本实用新型结构简单，实现了对内、外环形接触部位的准确定位，能够准确的确定研磨范围

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214080876 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023280609.9 (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人 合肥微睿光电科技有限公司

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