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一种刻蚀机反应室.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种刻蚀机反应室.pdf

    本实用新型公开了一种刻蚀机反应室，包括方体，所述方体外壁一侧开设有凹槽，所述方体内部设有进液管，所述进液管内部贯穿有过滤板，所述过滤板一端贯穿于凹槽内部，所述过滤板与方体滑动连接，所述过滤板与进液管滑动连接，所述过滤板一端固定连接有滑套。本实用新型通过在主动轴外壁设置稳定板，稳定板的加入，使主动轴的稳定性增加，滑块的截面形状设置为圆形，使滑块和滑槽之间的摩擦阻力大大降低，滑槽的加入，使滑块的运动轨迹得到限制，支撑杆的加入，使活动板可以摆动运动，活动块的截面形状设置为半圆形，使齿条可以带动动力齿轮

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214075259 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022514669.6 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人 无锡芯汉电子科技有限公司

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