原创力文档- 1
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- 2023-04-04 发布于四川
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组合磁场与内衬偏压阶梯管和多孔挡板复合的过滤装置，属于表面技术领域，本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本发明的装置包括：偏压电源、电弧离子镀靶源、多级磁场装置、内衬偏压阶梯管和多孔挡板组合装置、活动线圈装置及相应的电源、样品台、偏压电源波形示波器和真空室；薄膜沉积：装置连接，系统启动，待真空室内的真空度小于10‑4Pa时，通入工作气体，镀膜电源开启，利用偏压电源调节电弧等离子体的能量，通过内衬偏压阶梯管和多孔挡板组合装置及多级磁场装置消除电弧等离子体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214115702 U
(45)授权公告日 2021.09.03
(21)申请号 201822274434.7
(22)申请日 2018.12.30
(66)本国优先权数
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