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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型涉及一种超纯氨在线分析装置，包括依次连接的气源单元、气源接入单元，分析控制单元和检测单元；所述检测单元包括氦离子化气相色谱检测单元和微水分分析仪检测单元；所述分析控制单元包括连接氦离子化气相色谱单元的第一分析单元和连接微水分分析仪检测单元的第二分析单元。本实用新型能够以在线检测的形式，定时检测工艺中超纯氨气体杂质，避免采样过程中带来的污染对测量结果的影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214097300 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120001307.9
(22)申请日 2021.01.04
(73)专利权人 福建久策气体股份有限公司
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