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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型提供了一种高低温关节式流道装置,包括节流通道及其两端分别安装的第一连接组件和第二连接组件,所述节流通道包括若干相互平行设置的通道组件,所述通道组件包括外夹板及其中部套接的转板,且相邻两个外夹板通过转板相连接,所述外夹板包括相互平行且对称设置的第一分流块和第二分流块,转板位于第一分流块和第二分流块之间。本实用新型所述的高低温关节式流道装置,可以兼容高低温气体预温方式及高低温液体预温方式,根据工况需求即可以进行小弯曲半径的往复运动,也可以在平面上进行X、Y方向运动,支持运动范围大。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214094020 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120098754.0
(22)申请日 2021.01.14
(73)专利权人 天津金海通半导体设备股份有限
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