1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种微型氧传感器芯片.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约8.59千字
  • 约 7页
  • 2023-04-04 发布于四川
  • 举报

一种微型氧传感器芯片.pdf

    本实用新型公开了一种微型氧传感器芯片，依次包括保护层、敏感电极外电极层、第一氧化锆基体层、敏感电极内电极层、空气通道层、第二氧化锆基体层、第一绝缘层、加热电极层、第二绝缘层、第三氧化锆基体层、第三绝缘层和加热电极引脚层；第一氧化锆基体层和第三氧化锆基体层厚度对称，厚度均在80～120μm，且第一氧化锆基体层、第二氧化锆基体层和第三氧化锆基体层的厚度比为1:8:1～1:11:1，且第二氧化锆基体层厚度在800～900μm。通过控制厚度的方式，保证敏感极内阻尽量小，在保证其他功能的前提下，氧传感器的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214097254 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202023023923.9 (22)申请日 2020.12.15 (73)专利权人 东莞聚德寿科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >