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- 2023-04-04 发布于四川
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公开了一种微机电传感器，微机电传感器包括：位于衬底上的埋层，埋层上设置有多个检测电极和多个布线电极；位于多个检测电极和多个布线电极上方的扭摆臂，扭摆臂、多个检测电极和多个布线电极互不接触；位于扭摆臂上方的扭摆和多个可动扭摆块，多个可动扭摆块通过扭摆臂与扭摆连接，多个可动扭摆块和扭摆臂形成可动结构；位于扭摆臂上方的多个固定电极；位于埋层上的支撑壁，保护壁位于支撑壁上，支撑壁和保护壁围成空腔，可动结构、扭摆、多个检测电极、多个布线电极和多个固定电极位于空腔中。本实用新型实施例提高了微机电传感器的灵敏
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214122270 U
(45)授权公告日 2021.09.03
(21)申请号 202022170718.9
(22)申请日 2020.09.28
(73)专利权人 杭
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