可拆式粉末原子层沉积装置.pdfVIP

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2023-04-04 发布于北京
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可拆式粉末原子层沉积装置.pdf

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本实用新型提供一种可拆式粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元连接轴封装置，而真空腔体透过至少一连接单元锁固在轴封装置的一端。驱动单元透过轴封装置带动真空腔体转动，以搅拌真空腔体的一反应空间内的粉末，以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。此外完成原子层沉积的真空腔体可由轴封装置上卸下，以方便使用者将粉末由真空腔体取出，并清洁真空腔体，以提高使用时的便利性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214088660 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022645502.3 (22)申请日 2020.11.16 (73)专利权人鑫天虹(厦门)科技有限公司