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一种偏心菱形齿结构.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种偏心菱形齿结构.pdf

    本实用新型公开了一种偏心菱形齿结构，包括该偏心菱形齿结构安装于硅片花篮支撑杆的外表面上，所述硅片花篮支撑杆与花篮端板一起组成硅片花篮，所述硅片花篮支撑杆与花篮端板相结合的位置开设有凹槽，所述花篮端板共设置有两个，且两个花篮端板安装于三个所述硅片花篮支撑杆的两端；本实用新型所述的偏心菱形齿结构，偏心菱形齿结构可以减少硅片花篮支撑杆上齿与硅片的接触面积，提高硅片良率。硅片和齿接触会产生齿印，齿印是硅片良率的重要指标，减少齿与硅片的接触面积可以有效降低齿印，提高硅片良率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099602 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022907606.7 (22)申请日 2020.12.06 (73)专利权人 无锡市世通模塑有限公司

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