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- 2023-04-04 发布于四川
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一种半导体零部件和等离子处理装置，其中，半导体零部件包括：零部件本体；耐腐蚀涂层，其材料包括稀土氧化物或者稀土氟化物，位于所述零部件本体的表面，所述耐腐蚀涂层具有修饰面，所述修饰面具有原子缺陷，所述原子缺陷被填充离子修饰。所述零部件本体表面的耐腐蚀涂层中的原子缺陷较少，使耐腐蚀涂层具有较强的耐腐蚀能力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214099576 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202023059665.X
(22)申请日 2020.12.18
(73)专利权人 中微半导体设备（上海）股份有限
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