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一种用于硅片放置固定的石英舟.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种用于硅片放置固定的石英舟.pdf

    本实用新型涉及石英舟领域，且公开了一种用于硅片放置固定的石英舟，包括支架、第一支撑杆、第二支撑杆、第一滑动杆、第二滑动杆以及调节装置，所述支架设于水平台上，所述第一支撑杆的两端穿插于支架开设的通孔内，且第一支撑杆外表面固定连接于支架通孔侧壁，所述第二支撑杆底部固定连接于支架的顶部，所述第一滑动杆通过调节装置活动连接于第一支撑杆，所述第二滑动杆通过调节装置活动连接于第二支撑杆，该实用新型，使得该装置可放置不同尺寸的硅片，此外，通过夹紧装置，硅片的顶部正好卡合在橡胶垫的卡位槽内，且在第二弹簧的作用下

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099604 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120235427.5 (22)申请日 2021.01.28 (73)专利权人 湖州奥辉石英科技有限公司

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